技术特点：

采用双目双视场显微镜对准；球碗调平,单片机控制,触摸开关,操作方便、实用性强。

主要技术指标： 

★ 曝光面积：fф100mm；

★ 分辨力：　 1.7µm（胶厚2 µm的正胶）；

★ 对准精度：  ±1µm；　　

★ 掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm； 

★ 掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch； 

★ 样片尺寸：直径ф15mm-- ф100mm、

　　　　　　厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；

★ 照明均匀性：±6%（ф100mm 范围）； 

★ 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm;　 Y: ±5mm;　θ: ±6°；

★ 汞灯功率：200W（直流）；★曝光方式：定时（倒计时方式）。