眼科专用手术显微镜

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骨科、泌尿生殖外科、烧伤整形外科、心胸外科手术显微镜

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脑外科、耳鼻喉科、多功能手术显微镜

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口腔根管、耳鼻喉科手术显微镜

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ASOM-520

  光刻机/编码器/光栅数显表/光栅尺

URE—2000/17型紫外光刻机
URE—2000/25型紫外光刻机
URE—2000/35型紫外光刻机
URE—2000A型紫外光刻机
URE—2000B型紫外光刻机
URE—2000S/25型单、双面紫外光刻机
URE-2000D型大面积紫外光刻机
光电轴角编码器/光栅数显表/光栅尺
 
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URE-2000D型大面积紫外光刻机

 

用途:在平板显示器、大尺寸光栅、码盘等刻划中具有突出的功能与用途。 

技术特点: 

◆ 采用3500W直流高压汞灯;◆ 采用蝇眼透镜实现高均匀照明; 

◆ 实现超大面积光刻;   ◆采用CCD自动对准,自动化程度高;

◆ 性能可靠、操作方便。 

主要技术指标:

★ 曝光面积:430 mm×430 mm; 

★ 分辨力:3µm; 

★ 对准精度:≤±1µm ;      

★ 掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸; 

★ 照明均匀性:±10%(430 mm×430 mm范围);

★ 掩模相对于样片运动行程:X: ±6mm;  Y: ±6mm; θ: ±6度; 

 

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