技术特点：

球气浮实现高精度调平；超精密手轮对准调节，单片机控制,触摸开关操作；整机精度高、性能可靠、操作方便、具有高性价比。 

主要技术指标： 

 曝光面积：100mm×100mm； 

★ 分辨力：　 1.5µm（胶厚2µm的正胶）；

★ 对准精度：±0.8µm；　　　

★ 照明均匀性：±4%（ф100mm 范围）； 

★ 掩模相对于样片运动行程：X:±5mm; Y:±5mm;　θ:±6°；

★ 掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch； 

★ 样片尺寸：直径ф15mm-- ф100mm、厚度0.1mm--6mm；

★ 汞灯功率：200W（直流）； ★ 曝光方式：定时（倒计时方式）。